Exemples de réalisations
Microfabrication services at INO
Micro-Pirani pressure microsensor
L’INO dispose de l’équipement et de l’expertise pour prendre en charge tout le cycle de développement de microsystèmes. Que ce soit pour la simulation, la conception, la fabrication, la mise en boîtier ou la caractérisation de microdispositifs, l’INO offre un service avantageux. Cet avantage provient de nos équipes multidisciplinaires, de notre forte concentration d’experts en optique et microfabrication, de nos procédés de fabrication flexibles et innovateurs et de notre capacité à combiner les microsystèmes à des modules de contrôle évolués.
Nous mettons au service de nos clients cette expertise de pointe avec un objectif précis : améliorer leur position concurrentielle et leur chiffre d’affaires.
Nos équipes ont déjà conçu et réalisé une variété de microdispositifs optiques, parmi lesquels nous retrouvons des microbolomètres, des micromiroirs, des microbancs optiques et des micro-obturateurs. Dans plusieurs cas, ces microsystèmes ont été construits de façon monolithique sur des circuits intégrés CMOS provenant de diverses fonderies nord-américaines. La convivialité des microsystèmes peut, de surcroît, être assurée par l'intégration avec divers éléments sur mesure tels qu'électronique dédiée et logiciel de contrôle.
La conception des microsystèmes et des photomasques correspondants débute toujours par la simulation du comportement mécanique, électromécanique, thermique ou optique de chacun des éléments. Nous avons alors recours à des logiciels de pointe comme Intellisuite et ANSYS pour réaliser ces simulations.
Nos procédés de fabrication pour réaliser les microdispositifs sont innovateurs et flexibles. Ils incluent :
Nos équipes disposent de plus de 430 m2 de salles blanches de classe 100, 1000 et 10 000, d'appareils semi-automatiques pour le dépôt et la gravure de films minces et d'équipement de photolithographie pour le traitement de substrats atteignant jusqu'à 150 mm de diamètre. Notre vaste expertise de la mise en boîtier nous permet également d’offrir une gamme de solutions allant de la simple encapsulation sous atmosphère inerte dans un boîtier disponible commercialement, à la mise sous vide dans un boîtier sur mesure intégrant un dispositif de contrôle de température.
L'INO est l'endroit idéal pour tester les microsystèmes grâce à un savoir-faire multidisciplinaire combiné à la grande diversité des appareils de mesure disponibles :
Jetez un coup d’œil sur nos différentes réalisations et découvrez l’étendue des applications possibles ou mieux encore, contactez-nous pour découvrir comment nous pouvons répondre à vos besoins spécifiques.