Exemples de réalisations
Microfabrication services at INO
L’INO dispose d’une équipe multidisciplinaire et d’équipements de pointe lui permettant d’offrir des services uniques de fonderie pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS). Ces services comprennent : la conception, le prototypage, la fabrication, la mise en boîtier et la caractérisation de divers microsystèmes MEMS et MOEMS. La conception débute avec l’évaluation des différentes structures associées à une application donnée. Ensuite, des simulateurs et des logiciels commerciaux ou sur mesure servent à évaluer les performances mécaniques, optiques, thermiques et électromécaniques. Les technologies standards de fabrication de circuits intégrés telles que le dépôt et la gravure de couches minces métalliques, diélectriques et semi-conductrices, tout comme le transfert de patrons photolithographiques sont également disponibles. Un complément d'information sur les technologies de fabrication à l'INO se trouve à la section portant le contrôle de faisceaux. Des métaux comme Au, Ag, Al, des alliages Al, Ti, Cr, Cu, Mo, MoCr, Ni, Pt et V peuvent aussi être déposés à une épaisseur allant de 5 nm à 2 µm et à une uniformité de l'ordre de 2 %. De plus, l'INO a développé et construit un équipement de dépôt de noir d'or pour répondre aux besoins d'un client désirant construire des détecteurs microbolométrique large bande. Ce service de dépôt de noir d'or est maintenant disponible pour tous nos clients.
L’INO offre également à ses clients des services d’électroplacage sélectif et de moulage. De plus, ses chercheurs ont développé une solide expertise dans la mise en boîtier de MEMS, laquelle assure l’herméticité du dispositif tout en lui conservant une fenêtre ouverte sur l’extérieur.
Ce savoir-faire multidisciplinaire permet à l’INO de fabriquer plusieurs types de systèmes microélectromécaniques (MEMS), de même que des instruments complexes incluant les micromiroirs, les microfiltres et les capteurs à usage multiple.
L’INO possède finalement une vaste expertise dans la fabrication sur mesure de matrices de capteurs bolométriques IR non refroidis basés sur le VOx; cette technologie est disponible pour transfert.