Contexte
L’INO possède une panoplie d’instruments de mesures optiques et d’équipements d’analyse permettant la caractérisation des composantes optiques et facilitant le processus d’assemblage. De plus, l’INO possède des chambres blanches dédiées à l’assemblage optique ainsi que de l’équipement pour les tests environnementaux où l’on teste la résistance aux chocs, aux vibrations, ainsi qu’aux variations de température et d’humidité. Pour répondre à des besoins spécifiques de clients qui ne sont pas supportés par l’instrumentation actuelle, l’INO est en mesure d’offrir des montages personnalisés grâce à son expérience et à son large éventail d’équipements.
Solution
Pendant plus de cinq ans, l’INO a aligné et caractérisé des objectifs de microscope réflectifs, modèle 99-5472-001, produit par Ealing Catalog, Inc. et maintenant transférés à Edmund Optics. Ces objectifs répondent au besoin particulier de différents clients qui exigent une performance optique supérieure par exemple dans un système d'inspection de la qualité de surface des "wafers" utilisés pour la fabrication des semi-conducteurs / circuits intégrés. Ainsi, le modèle 99-5472-001 a été aligné et caractérisé à l’aide d’un senseur de front d’onde de type Shack-Hartmann.
L’alignement et l’ajustement des deux miroirs de l’objectif réflectif avec l’aide d’un senseur Shack-Hartmann et d’une caméra CCD, a permis de minimiser les aberrations optiques. Un rapport détaillé des valeurs d’aberrations pour chacun des objectifs a été livré au client ainsi que les images de front d’onde correspondantes.