De plus…
La caractérisation des divers éléments du micromanipulateur a montré que la réponse statique du dispositif est encore meilleure que ce que les simulations nous laissaient prévoir, le voltage requis pour faire tourner le manipulateur étant plus faible que ce qui était attendu. Le signal de rétroaction provenant des capteurs photoniques montre une variation en fonction de l’angle de rotation telle que prévue par la théorie.
Un dispositif prometteur
Le micromanipulateur est un dispositif monolithique entièrement basé sur un procédé de microfabrication de surface. Le micromiroir tourne de 4° pour une tension d’activation aussi faible que 15 V. La variation du signal de rétroaction est telle que prédite par la théorie. Globalement, la performance de ce premier prototype de micromanipulateur de faisceau laser répond bien à la plupart des requis de l’application.
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