MEMS

Dans le secteur des systèmes microélectromécaniques (MEMS), l’INO se distingue par ses procédés de microfabrication sur mesure, son service de fonderie, sa maîtrise des étapes de post-traitement sur tranches et puces électroniques (wafer and chip-level), sa technologie de mise en boîtier sous vide et sa vaste expérience en transfert technologique.

Dans le secteur des MEMS, l’INO développe des solutions innovantes, plus particulièrement en imagerie infrarouge et térahertz. Les détecteurs bolométriques non refroidis à base d’oxyde de vanadium en sont le meilleur exemple. Les technologies de l’INO visent des secteurs d’activité aussi variés que les sciences de la vie, les technologies spatiales, l’astronomie, l’environnement, le transport, la défense et la sécurité. Peu importe le domaine, l’INO se spécialise dans le développement de MEMS sur mesure et l’intégration monolithique de MEMS sur puces électroniques.

L’INO offre divers services tels que la conception de MEMS, la modélisation, le développement de procédés de microfabrication, le prototypage et la fabrication de courtes séries, la mise en boîtier sous vide, l’assemblage hétérogène, les tests radiométriques, électriques et environnementaux, ainsi que l’intégration de MEMS à divers systèmes sur mesure.

Les plateformes technologiques conçues à l’INO sont transférables à l’industrie. L’adaptation d’une plateforme, par l’entremise d’un projet de recherche et développement, permet au client d’exploiter pleinement ses opportunités commerciales en bénéficiant d’un avantage technologique. Par ailleurs, son offre de transfert de technologies bolométriques est unique.

L’INO excelle aussi dans la conception de produits sur mesure, selon les spécifications du client, tels que les détecteurs bolométriques infrarouges et térahertz et les micromiroirs.

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