Contexte

La mise en boitier représente souvent la majorité des coûts des MEMS/MOEMS et cela tout particulièrement quand une atmosphère spécifique est requise. Tous les paramètres d’un boîtier, incluant les dimensions latérales, le volume, la masse, la résistance mécanique, ainsi que les propriétés électriques, thermiques et optiques ont une influence sur les propriétés des détecteurs bolométriques ou sur les performances de tout instrument intégrant ces détecteurs. Il est donc essentiel de développer et d’optimiser ces paramètres pour obtenir des performances optimales. Bien que la performance générale soit un critère essentiel, le poids et le coût sont tout aussi importants dans les critères de mise en boîtier.

L’INO totalise 25 ans d’expérience dans la mise en boitier de divers types de MEMS :

  • Bolomètres
  • Accéléromètres
  • Micro-miroirs
  • Appareils photoniques
  • Détecteurs thermopiles
  • Détecteurs pyroélectriques
  • Stores à micro-lamelles
  • Boîtiers céramique. Procédé à basse température (<175°C) maintenant offert.
  • Boîtier céramique standard avec fenêtre infrarouge (IR)
  • Boîtier céramique standard avec fenêtre VIS
  • Exemple de mise en microboîtier

Solution

Afin de répondre à des requis particuliers de mise en boitier de MEMS/MOEMS, nous avons développé une variété de techniques de mise en boîtier qui sont utilisées pour nos propres détecteurs bolométriques, ainsi que d’autres MEMS. Nos techniques peuvent employer des adaptateurs de métal ou de céramique.

Grâce à notre gamme complète d’équipements, nous sommes capables de mettre en boîtier une large variété de MEMS. Selon votre application et vos requis, nous sélectionnons le boîtier le mieux adapté, et nous le personnalisons pour correspondre à vos paramètres, tels que la taille de la puce, les connexions électriques, la température d’opération, le type de couvercle, etc. afin d’en retirer les performances maximales.

En complément, nous proposons un microdétecteur de pression MEMS-Pirani pour le contrôle de la pression. Un logiciel de contrôle facile d'utilisation est également inclus.

De plus

Transfert technologique disponible

Nos techniques de mise en boitier hermétique sous vide, métal et céramique, sont disponibles pour des transferts de technologie. Ces technologies sont idéales pour les bolomètres et d’autres MEMS qui nécessitent un environnement jusqu’à 1 mTorr.

Opter pour un transfert de technologie avec l’INO, c’est le moyen de gagner un avantage concurrentiel unique envers vos compétiteurs. Vous bénéficierez d’une expérience acquise durant 25 ans, qui vous permettra d’utiliser une technologie éprouvée pour fabriquer des produits de haut standard et les amener plus rapidement au marché.

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