Microdétecteur de pression MEMS-Pirani et logiciel de contrôle

  • Capture d'écran du logiciel de contrôle
  • Illustration de l'intégration dans un MEMS

Le microdétecteur de pression MEMS-Pirani de l’INO est un outil exceptionnel de développement de processus de mise en boîtier sous vide et de mesure de la performance. Cette solution de mesure dans le temps de la pression interne de la cavité est non destructive et permet de déceler des taux de fuite sous la limite de détection d’essais traditionnels.

Adapté à une foule d’applications générales, le microdétecteur sert à la surveillance de boitiers hermétique sous vide, à la mesure de la pression sous vide pour les industries des semi-conducteurs et du revêtement, ainsi qu’à l’intégration de divers systèmes de contrôle de la pression.

AVANTAGES

  • Gamme de mesure étendue
  • Format ultra compact
  • Intégration facile
  • Faible sensibilité à la température ambiante
  • Logiciel de contrôle clés en main

DE PLUS

Intégrée dans un logiciel convivial disponible commercialement, notre méthode brevetée procède à des mesures directes de pression basées sur les données du capteur étalonné. Communiquez avec nous pour obtenir un devis!

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