Dépôt de couches soudables hermétiques en métal

La plupart du temps, les couvercles/fenêtres des boîtiers MEMS sont fournis seuls. Pour assembler hermétiquement le couvercle au boitier MEMS, et pour en retirer les performances maximum, des couches soudables hermétiques sont nécessaires.

L’INO offre un service de dépôt de couches soudables hermétiques pour les MEMS : notre capacité de métallisation pour les boitiers hermétiques est hautement flexible, ceci dans le but d’atteindre des requis spécifiques. Nous pouvons déposer des couches minces métalliques sur de nombreux types de matériaux, tels que le verre, la céramique, le silicium, le germanium, le saphir, le quartz, le diamant et les métaux.

Deposition Of Metallic Thin Films

 

Hermetic Metallization Details

 

Notre force : une capacité flexible de métallisation pour les couvercles et fenêtres de boitiers – mise en boitier sous vide

  • Procédé de métallisation via pulvérisation sur les couvercles et les fenêtres
  • Différents matériaux disponibles pour le cadre de couvercles pouvant être montés par soudure hermétique sans flux
  • Cadre pour soudure hermétique de couvercle personnalisé selon les requis
  • Métallisation multi-couche, avec couvercles/fenêtres jusqu’à 1,5 mm d’épaisseur
  • Procédé de métallisation à haut débit
  • Inspection sur mesure dépendamment des requis
  • Revêtement antireflet disponible
  • Charge d’outillage non-récurrente pour de nouvelles spécifications de couvercles/fenêtres
  • Couvercles/fenêtres scellés individuellement dans des sacs/contenants de salles blanches pour l’expédition
  • Environnement de salle blanche classe 1000 – FED-209E (ISO-6 ; 14644-1)

Spécification nominales pour le dépôt de couches soudables

  • Épaisseur du couvercle/de la fenêtre : de 0,2 mm jusqu’à 1,5 mm
  • Dimensions du couvercle/de la fenêtre : flexible, selon vos spécifications
  • Largeur du cadre pour soudure hermétique de couvercle: à partir de 500 µm
  • Tolérance sur la largeur du cadre de soudure : +/- 7.5%
  • Élargissement typique du cadre tout autour du couvercle : +/- 10 %
  • Épaisseur du cadre hermétique pour soudure : de 150 nm à 800 nm
  • Rétrécissement typique de l’épaisseur : 33% de la largeur du cadre de soudure
  • Tolérance sur épaisseur maximum déposée du cadre de soudure : +/- 8%
  • Une plus haute précision peut être atteinte sur demande

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