Détecteur bolométrique infrarouge

Depuis 1992, l’INO s’est bâti une solide réputation en matière de détecteurs infrarouges non refroidis à oxyde de vanadium. Son portefeuille de propriété intellectuelle témoigne d’une expertise hors pair en conception, en fabrication, en caractérisation et en encapsulation de détecteurs microbolométriques, ainsi qu’en technologie d’interfaces détecteur circuit de lecture intégrée (ROIC). L’adaptation et la fabrication de détecteurs infrarouges de 17 à 312 microns sont maintenant des activités courantes dans les salles blanches de l’INO.

Nous proposons des services de fonderie afin d’incorporer de façon monolithique des détecteurs microbolométriques aux plaquettes ROIC de nos clients, en plus de les aider à concevoir leurs propres ROIC. Nous avons également conçu sur mesure plusieurs matrices infrarouges à plan focal (FPA) selon les exigences précises de nos clients, notamment une matrice bolométrique de 384 x 288 pixels ayant un pas de 35 microns, ainsi qu'une matrice bolométrique de 512 x 3 pixels ayant un pas de 39 microns pour les agences spatiales européenne et canadienne.

La technologie de détecteurs infrarouges est offerte en concession de licence. Les plaquettes de circuits de lecture CMOS, utilisées pour fabriquer les matrices de détecteurs à plan focal, sont également disponibles sous contrat d’approvisionnement.

Notre spécialité : les détecteurs bolométriques non refroidis à oxyde de vanadium

Notre force : notre équipe

Notre équipe multidisciplinaire chevronnée est vouée à satisfaire entièrement vos besoins de conception et de transfert de technologie.

Domaines d’application :

  • Aérospatiale et astronomie

  • Défense et sécurité

  • Lutte contre les incendies

  • Inspection et entretien

  • Profilage de faisceau laser

  • Médecine

  • Vision nocturne

  • Télédétection

  • Recherche et sauvetage

  • Transports

De plus…

Les détecteurs non refroidis ont révolutionné la détection et l’imagerie infrarouges en permettant la création de capteurs fiables et abordables pour les applications civiles et militaires. Comparativement aux dispositifs à refroidissement cryogénique, les détecteurs bolométriques infrarouges fonctionnent à température ambiante et présentent des avantages considérables sur le plan des coûts et des conditions d’exploitation, notamment une fiabilité accrue, une consommation d’énergie, une taille et un poids réduits.

Les détecteurs à oxyde de vanadium se démarquent également par leur réponse multispectrale. L’INO a mis à profit cette caractéristique afin de développer des détecteurs à large bande et de les adapter à la détection térahertz. Notre technologie permet désormais de détecter des longueurs d’onde de 3 microns à 1 millimètre.

L’un des éléments clés pour fabriquer des détecteurs à large bande est le système de dépôt de noir d’or conçu et élaboré par notre équipe de microfabrication. Les principaux avantages du dépôt de noir d’or sont sa masse et sa conductance thermiques faibles, qui favorisent une excellente absorption optique et une réponse thermique rapide. L’INO offre maintenant un service de dépôt de noir d’or en couches minces aux clients souhaitant améliorer les performances de leurs détecteurs à large bande.

Par ailleurs, la polyvalence de la technologie a contribué à la mise au point d’un détecteur de pression MEMS-Pirani novateur, fabriqué selon le même procédé, à utiliser de façon autonome ou par intégration monolithique aux FPA.

Exemple de transfert de technologie à l'industrie

INO et Teledyne DALSA se sont entendues sur un projet de transfert de technologie qui permettrait à Teledyne DALSA de fabriquer des matrices de détecteurs infrarouges à sa fonderie MEMS de Bromont et de mettre en boîtier, de tester et de caractériser les détecteurs et les caméras intégrant ces détecteurs.

«Les MEMS et l’imagerie infrarouge sont deux axes stratégiques qui ont un bon potentiel de croissance pour Teledyne DALSA. Le développement et la production complète de dispositifs infrarouges au Québec renforceront notre position de leader dans l’imagerie numérique et les semi-conducteurs, à un moment où le marché de l’imagerie infrarouge est en forte croissance.» 

Brian Doody, président-directeur général de Teledyne DALSA, février 2014

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