L’INO offre une gamme complète de services de fonderie MEMS/MOEMS. Que vous recherchiez un service particulier ou un processus de création de MEMS complètement intégré, nous disposons des ressources et de l’expertise pour vous aider à atteindre vos buts. Notre salle blanche ultramoderne pour la fonderie MEMS est parfaitement adaptée à la transformation de substrats de silicium de 6 et 8 pouces.

Notre offre comprend, sans s’y limiter :

  • la conception de MEMS;
  • la simulation;
  • l’intégration de MEMS aux plaquettes de semi-conducteurs à oxyde de métal complémentaire (CMOS);
  • le micro-usinage de surface à multiples couches sacrificielles;
  • l’assemblage hétérogène; l
  • le prototypage et la production de courte série;
  • les essais et la caractérisation;
  • la mise en boîtier hermétique sous vide.

Nous proposons également des services de fonderie pour le dépôt et le façonnage de couches minces optiques, de même que des services de dépôt de noir d’or.

Notre spécialité : intégration de MEMS aux plaquettes de circuits de lecture (ROIC) CMOS

L’INO a acquis un solide savoir-faire en intégration de MEMS aux plaquettes CMOS grâce à sa collaboration avec des experts en conception de circuit de lecture intégré et avec des fonderies de CMOS. Combiné à notre expérience en conception et en assemblage de microbolomètres, ce savoir-faire nous a permis de développer une expertise spécifique en intégration de microbolomètres à oxyde de vanadium aux circuits de lecture intégrée CMOS. Nous pouvons vous aider dans :

  • la conception de circuits intégrés CMOS mixtes compatibles avec les MEMS;
  • la sélection d’une fonderie CMOS;
  • l’intégration de MEMS aux circuits CMOS;
  • le post-traitement de plaquettes CMOS;
  • le post-traitement de plaquettes photoniques à base de silicium;
  • les essais et la caractérisation;
  • le transfert de technologie.

Nous offrons la production de courtes et de moyennes séries, de même que des services de mise en boîtier de dispositifs individuels ou de miniséries. Nous tolérons également dans nos installations la contamination croisée de certains matériaux comme l’or, ouvrant ainsi de nouvelles voies au développement et à l’intégration de MEMS spécifiques.

Notre force : stabilité et flexibilité

Extrêmement flexible, notre service de fonderie MEMS peut compter sur une solide expérience en conception et en intégration de MEMS ainsi que sur la stabilité de notre personnel et de nos processus pour toujours renforcer cette expertise.

Nous collaborons étroitement avec des partenaires spécialisés et avons établi un réseau de fournisseurs fiables, nous permettant ainsi d’élargir nos compétences et notre capacité de production afin de vous offrir le meilleur des services.

Domaines d’application :

Les MEMS permettent d’économiser de l’espace et de l’énergie. Ils offrent des solutions inestimables dans de nombreux domaines, tels que :

  • Défense et sécurité
  • Environnement
  • Transports
  • Biomédical

De plus…

Pour de plus amples renseignements sur nos services de fonderie MEMS, consultez notre liste d’équipement de microfabrication, ou communiquez avec nous.

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