Post-traitement de plaquettes de silicium

L’INO offre des services de mise en boîtier de puces photoniques sur silicium et de post-traitement de plaquettes. Nous avons la capacité de livrer des dispositifs photoniques sur silicium ayant de très faibles pertes d’insertion, et une répétabilité d’alignement optique inférieure au micron.

Post-traitement de plaquettes de silicium

L’INO offre des services de post-traitement de substrats de silicium de 150 mm et 200 mm (6 po et 8 po) de diamètre. Notre offre sur mesure inclut la lithographie, le dépôt de métaux et de diélectriques, le découpage, la conception et la fabrication de structures d’alignement.

Notre spécialité : Post-traitement et sondage de plaquettes

Lithography Ino

  • Lithographie de dimensions critiques ≥ 400 nm, précision d’alignement de 100 nm
  • Dépôt de métaux : couche soudable, réacheminement
  • Dépôt de diélectriques (SiO2, SiOxNy, Si3N4): Indice de réfraction compris entre 1.45 and 2.3, permettant un contrôle parfait de vos requis
  • Structures d’alignement passives
  • Sondage de plaquette: combinaison de sondage électrique (DC) et de sondage optique pour tester et caractériser votre design.

Domaines d'application

  • Télécommunications
  • Centre de données
  • Biomédical

 

Nous offrons également le service de mise en boîtier pour la photonique sur silicium. Contactez-nous pour plus d’informations!

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