Description
Notre technologie est utilisée pour la surveillance de boîtiers hermétiques sous vide, la mesure de la pression sous vide pour les industries des semi-conducteurs et du revêtement, ainsi que l’intégration de divers systèmes de contrôle de la pression. Le microdétecteur de pression MEMS-Pirani est un outil vraiment exceptionnel.
Logiciel et méthode
- L’unité de lecture intègre un logiciel convivial qui procède à des mesures directes de pression basées sur les données du capteur étalonné.
- Nous vous offrons une gamme de mesures de pression étendue de MEMS-Pirani, disponibles dans un format ultra compact. Leur intégration est facile, elles ont une faible sensibilité à la température ambiante et notre logiciel de contrôle vous offre une solution complète, clé en main!
Caractéristiques
- Gamme de pression 1 x 10-3 à 1 atmosphère
- Dimensions 2 mm x 2 mm x 0,7 mm
- Temps de réponse <100 ms
