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Services de fonderie – MEMS

Nous offrons une gamme complète de services de fonderie pour la microfabrication de puces sur plaquette de silicium.

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Que vous recherchiez un service particulier ou un processus complet de fabrication intégré MEMS/MOEMS (microsystème électromécanique / microsystème optoélectromécanique), nous disposons des ressources et de l’expertise pour vous aider à atteindre vos objectifs. Nos salles blanches de classe 100, 1 000 et 10 000 sont adaptées à la fabrication sur substrats de 100, 150 et 200 mm.

Notre offre de services comprend, sans s’y limiter :

  • conception de MEMS;
  • simulation (optique et mécanique);
  • micro-usinage de surface à multiples couches sacrificielles;
  • assemblage hétérogène;
  • prototypage et production de courte série;
  • essais et caractérisation;
  • test sous vide de plaquettes complètes (wafer-level vacuum probing);
  • mise en boîtier hermétique sous vide.

Nous proposons également des services de fonderie pour le dépôt et le façonnage de couches minces optiques, de même que le service de dépôt de noir d’or.

Nous avons acquis un solide savoir-faire en intégration de MEMS aux plaquettes CMOS grâce à notre collaboration avec des experts en conception de circuit intégré de lecture et avec des fonderies de CMOS, particulièrement dans le domaine des microbolomètres à oxyde de vanadium. Nous pouvons vous accompagner dans :

  • la conception de circuits intégrés CMOS mixtes compatibles avec les MEMS;
  • la sélection d’une fonderie CMOS;
  • l’intégration de MEMS aux circuits CMOS;
  • le post-traitement de plaquettes CMOS;
  • le post-traitement de plaquettes photoniques à base de silicium;
  • les essais et la caractérisation;
  • le transfert de technologie.

Nous offrons la production de courtes séries, de même que le service de mise en boîtier de dispositifs individuels ou multiples. Plusieurs de nos équipements peuvent accepter la contamination croisée de certains matériaux comme l’or, ouvrant ainsi de nouvelles voies au développement et à l’intégration de MEMS spécifiques.

Extrêmement flexible, notre service de fonderie MEMS s’appuie sur une solide expérience en conception et en intégration de MEMS ainsi que sur la stabilité de notre personnel et de nos processus pour continuellement renforcer cette expertise.

Nous collaborons étroitement avec des partenaires spécialisés et avons établi un réseau de fournisseurs fiables, nous permettant ainsi d’élargir nos compétences et notre capacité de production afin de vous offrir le service le plus complet possible.

Les MEMS sont des dispositifs électromécaniques de petite taille qui agissent comme capteur ou actionneur avec l’environnement. Par exemple, ils sont utilisés dans les caméras infrarouges (microbolomètres), la détection de mouvement (gyroscopes, accéléromètres), les capteurs de pression, les microphones, etc. On les retrouve dans de nombreux domaines, tels que :

  • Défense et sécurité
  • Environnement
  • Transports
  • Biomédical

Pour plus d’informations, communiquez avec nous.

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