INO

Microfabrication

MEMS

Projecteur d'images muni d'un modulateur de lumière analogique, réfléchissant et souple

2,507,177 Doucet, M., Savard, M., Picard, F., Niall, K. Canada 24-04-12

7,835,056 Doucet, M., Savard, M., Picard, F., Niall, K. États-Unis 16-11-2010

Micro-dispositif de modulation de lumière

2,464,207 Alain, C., Picard, F., Jerominek, H. Canada 29-03-2011

7,088,493 Alain, C., Picard, F., Jerominek, H. États-Unis 08-08-2006

Micro-dispositif de modulation de lumière et méthode associée

6,025,951 Swart, N., Jerominek, H. États-Unis 15-02-2000

2,190,329 Swart, N., Jerominek, H. Canada 27-05-2005

Micro-dispositif de dégazage utilisant un système micro-électro-mécanique (MEMS)

8,395,229 Garcia-Blanco, S., Williamson, F., Viens, J. États-Unis 12-03-2013

2,822,484 Garcia-Blanco, S., Williamson, F., Viens, J. Canada 21-07-2015

Micro-dispositif à micro-plateforme mobile et son procédé de fabrication

2,417,393 Jerominek, H., Topart, P. Canada 21-09-2010

6,849,170 Jerominek, H., Topart, P. États-Unis 01-02-2005

Capteur d'empreintes digitales avec matrice de micro-thermistors

2,311,914 Picard, F. Canada 09-02-2010

6,633,656 Picard, F. États-Unis 14-10-2003

Capteur de pression gazeuse à micro-thermistor

8,171,801 Le Noc, L., Tremblay, B., Viens, J.-F. États-Unis 08-05-2012

2,746,336 Le Noc, L., Tremblay, B., Viens, J.-F. Canada 27-05-2014

2 359 116 Le Noc, L., Tremblay, B., Viens, J.-F. Europe 27-02-2019

Boîtier miniature pour micro-dispositifs et son procédé de fabrication

2,410,430 Jerominek, H., Alain, C. Canada 14-04-2017

6,686,653 Jerominek, H., Alain, C. États-Unis 03-02-2004

7,077,969 Jerominek, H., Alain, C. États-Unis 18-07-2006

1 295 335 Jerominek, H., Alain, C. Europe 19-05-2004

Méthode pour déterminer la composition d'un gaz et mesurer sa pression

8,117,898 Viens, J.-F., Le Noc, L. États-Unis 21-02-2012

2,746,335 Le Noc, L., Viens, J.-F. Canada 13-05-2014

Papier lumineux pour l'emballage de cadeaux

10,652,984 Boivin, P. États-Unis 12-05-2020

3,035,187 Boivin, P. Canada 26-04-2022

Micro-capteurs de pression par transfert de chaleur

3,170,485 Tremblay, B., Paquet, A. Canada 31-01-2023

11,747,231 Tremblay, B., Paquet, A. États-Unis 05-09-2023

Service de fonderie - MEMS

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Couches minces optiques

Résonateurs à miroir à réflectivité variable pour des lasers ayant un milieu de gain à section transverse non circulaire

2,072,470 Morin, M., Duplain, G. Canada 23-06-1998

5,260,964 Morin, M., Duplain, G. États-Unis 09-11-1993

Masque de phase avec une efficacité de diffraction qui varie spatialement

2,281,787 Ehbets, P., Poirier, M., Xu, Z., Capolla, N. Canada 10-08-2004

6,545,808 Ehbets, P., Poirier, M., Xu, Z., Capolla, N. États-Unis 08-04-2003

Détecteur bolométrique infrarouge

Détection et correction d'une perte d'étalonnage des radiomètres thermiques imageants à micro-bolomètres

8,748,808 Le Noc, L., Tremblay, B. États-Unis 10-06-2014

2,777,570 Le Noc, L., Tremblay, B. Canada 19-07-2016

Pixels micro-bolométriques à réponse rapide et munis d'éléments de focalisation micro-optiques intégrés

2,516,049 Pope, T., Tremblay, B., Picard, F. Canada 15-01-2013

7,439,513 Pope, T., Tremblay, B., Picard, F. États-Unis 21-10-2008

Méthode de fabrication d'une micro-structure suspendue avec support incliné, et micro-structure suspendue fabriquée par cette méthode

2,351,132 Jerominek, H. Canada 08-09-2009

6,780,570 Jerominek, H. États-Unis 24-08-2004

Détecteur micro-bolométrique avec une structure de support centrale

8,809,786 Oulachgar, H., Tremblay, B. États-Unis 19-08-2014

2,791,933 Oulachgar, H., Tremblay, B. Canada 17-01-2017

Détecteur micro-bolométrique à facteur de remplissage élevé et transducteurs offrant une isolation thermique accrue

2,467,160 Terre, W. A., Woolaway, J. T., Jerominek, H., Alain, C. Canada 28-04-2009

6,958,478 Terre, W. A., Woolaway, J. T., Jerominek, H., Alain, C. États-Unis 25-10-2005

Structure à micro-pont et méthode pour fabriquer la structure à micro-pont

2,275,863 Jerominek, H. Canada 27-04-2004

6,201,243 Jerominek, H. États-Unis 13-03-2001

Structure à micro-pont pour émettre ou détecter du rayonnement électromagnétique et méthode pour fabriquer une telle structure à micro-pont

5,831,266 Jerominek, H., Renaud, M., Swart, N. États-Unis 03-11-1998

Structure à micro-pont, et méthode pour fabriquer une micro-structure suspendue par un micro-support

6,130,109 Jerominek, H., Renaud, M., Swart, N. États-Unis 10-10-2000

5,962,909 Jerominek, H., Renaud, M., Swart, N. États-Unis 05-10-1999

Détecteur et matrice à micro-bolomètres non refroidis pour la détection du rayonnement terahertz

9,261,411 Oulachgar, H., Mauskopf, P., Jerominek, H., Bolduc, M., Ilias, S., Alain, C. États-Unis 16-02-2016

2,800,779 Oulachgar, H., Mauskopf, P., Jerominek, H., Bolduc, M., Ilias, S., Alain, C. Canada 10-10-2017

Pixel et matrice à micro-bolomètres non refroidis pour la détection à large bande configurable et multi-fréquences du rayonnement terahertz

9,476,774 Oulachgar, H., Alain, C. États-Unis 25-10-2016

2,875,303 Oulachgar, H., Alain, C. Canada 24-10-2017

Détecteurs thermiques de rayonnement électromagnétique avec absorbeurs optiques à base de nanotubes de carbone

11,054,311 Oulachgar, H., Généreux, F., Provençal, F. États-Unis 06-07-2021

3,087,748 Oulachgar, H., Généreux, F., Provençal, F. Canada 20-06-2023

Détecteurs et matrices à micro-bolomètres pour des applications de photonique imprimée

11,187,590 Oulachgar, H. États-Unis 30-11-2021

3,061,524 Oulachgar, H. Canada 25-06-2024

Mise en boîtier de MEMS

Capteur de pression gazeuse à micro-thermistor

2,746,336 Le Noc, L., Tremblay, B., Viens, J.-F. Canada 27-05-2014

8,171,801 Le Noc, L., Tremblay, B., Viens, J.-F. États-Unis 08-05-2012

2 359 116 Le Noc, L., Tremblay, B., Viens, J.-F. Europe 27-02-2019

Système tout optique sensible au mouvement et module optique utilisé dans ce système

9,753,055 Paquet, A., Paré, C., Sisto, M. M. États-Unis 05-09-2017

2,921,227 Paquet, A., Paré, C., Sisto, M. M. Canada 09-05-2017

Méthode pour déterminer la composition d'un gaz et mesurer sa pression

8,117,898 Viens, J.-F., Le Noc, L. États-Unis 21-02-2012

2,746,335 Le Noc, L., Viens, J.-F. Canada 13-05-2014

Dépôt de couches soudables hermétiques en métal

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