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MEMS-Pirani : Microdétecteur de pression

Notre technologie MEMS-Pirani vous permet de déceler des taux de fuite sous la limite de détection d’essais traditionnels et peut être adaptée à une foule d’applications générales. Cette solution de mesure dans le temps de la pression interne de la cavité est non destructive.

Description

Notre technologie est utilisée pour la surveillance de boîtiers hermétiques sous vide, la mesure de la pression sous vide pour les industries des semi-conducteurs et du revêtement, ainsi que l’intégration de divers systèmes de contrôle de la pression. Le microdétecteur de pression MEMS-Pirani est un outil vraiment exceptionnel.

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Logiciel et méthode

  • L’unité de lecture intègre un logiciel convivial qui procède à des mesures directes de pression basées sur les données du capteur étalonné.
  • Nous vous offrons une gamme de mesures de pression étendue de MEMS-Pirani, disponibles dans un format ultra compact. Leur intégration est facile, elles ont une faible sensibilité à la température ambiante et notre logiciel de contrôle vous offre une solution complète, clé en main!

Caractéristiques

  • Gamme de pression 1 x 10-3 à 1 atmosphère
  • Dimensions 2 mm x 2 mm x 0,7 mm
  • Temps de réponse <100 ms

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