Modulateur de phase

Client : Naval Research Laboratory, Washington DC
Secteurs d'activité : MEMS, Défense et sécurité
Technologies : MEMS

Contexte

Les systèmes classiques permettant de modifier les caractéristiques de propagation des faisceaux laser sont généralement lourds et volumineux, ce qui limite leur utilisation pour plusieurs applications. C’est le cas, entre autres, des systèmes de poursuite de projectiles (tracking) pour la protection des véhicules militaires. Nous devions donc concevoir, pour répondre aux besoins de notre client, un système peu coûteux et de dimension réduite permettant de modifier le profil d’un faisceau laser.

  • Ministère de la Défense canadienne
  • Détail de la structure mécanique des micromiroirs de type piston
  • Matrice de micromiroirs de type piston en boîtier
  • Portion d’une matrice de micromiroirs de type piston

Solution

Nous avons mis au point une matrice bidimensionnelle de micromiroirs pouvant être actionnés comme des pistons, ce qui permet de modifier localement la phase d’un faisceau laser et ainsi de manipuler son profil et ses propriétés de propagation. Les micromiroirs ont été fabriqués, mis en boîtier et caractérisés par l’INO, et nous avons développé un circuit électronique de contrôle et un logiciel sur mesure pour permettre une interaction conviviale avec le microsystème.

De plus

Dans sa version actuelle, le système permet de changer la configuration de la matrice jusqu’à 30 fois par seconde à l’aide de données définies par l’usager.

Tango de lumière sur miroirs microscopiques

Les micromiroirs se déplacent sur une plage de 6 µm en appliquant une tension légèrement supérieure à 100 V. Sur cette plage, l'électronique de contrôle permet de sélectionner 256 positions différentes. La matrice comprend 64 (8 x 8) micromiroirs mesurant 200 µm par 200 µm. Ces miroirs ont été conçus pour une opération dans l'infrarouge moyen. À ces longueurs d'onde, la planéité des miroirs est d'environ λ/8. La mise en boîtier a été faite dans une atmosphère inerte. Une fenêtre de ZnSe scelle le boîtier.

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