L’INO dispose des infrastructures, équipements et logiciels de pointe pour développer les microsystèmes des clients les plus exigeants. Prenant comme point de départ les exigences de l’application visée, nos experts en systèmes microélectromécaniques (MEMS) définissent les spécifications propres au microsystème désiré. L’équipe peut ensuite passer au cycle de développement qui est sensiblement similaire pour chaque MEMS. Chacune des étapes d’un cycle comprend : 

  • Conception et simulation des performances

  • Définition et adaptation du procédé et microfabrication

  • Mise en boîtier incluant la conception du boîtier 

  • Caractérisation des performances

Les spécialistes en MEMS de l’INO ont recours aux outils logiciels et aux équipements reconnus dans le domaine. Grâce à ses groupes d’experts en électronique et en conception de logiciel, l’INO peut livrer à ses clients un module MEMS complet comprenant l’électronique de contrôle et les logiciels associés. Cette approche éprouvée a déjà permis à nos équipes de concevoir et de réaliser une variété de dispositifs et modules MEMS, parmi lesquels nous retrouvons des microbolomètres, des microdétecteurs de pression MEMS-Pirani, des microbancs optiques et des microobturateurs.

Notre spécialité : modules MEMS clé en main

  • Conception et simulation du microsystème adapté à l’application visée

  • Microfabrication et caractérisation des microsystèmes

  • Si nécessaire, conception d’un boîtier adéquat pour l’application

  • Conception et fabrication de l’électronique de contrôle

  • Conception des logiciels de contrôle et d’une interface usager conviviale

Notre force : la polyvalence 

La flexibilité des procédés de fabrication et notre équipe multidisciplinaire rendent possibles la réalisation de modules MEMS complets.

Domaines d’application :

  • Industrie de l’automobile
  • Communications

  • Identification RF

  • Biomédecine

  • Systèmes militaires

  • Aérospatiale

  • Astronomie

  • Capteurs pour téléphones intelligents

  • Divertissement

De plus…

Dans certains cas, il est essentiel que les MEMS soient fabriqués directement sur la puce qui comprend typiquement une partie de l’électronique de contrôle et de lecture. L’INO a développé cette capacité en travaillant avec plusieurs maisons de conception de circuits intégrés et fonderies de semi-conducteurs à oxyde de métal complémentaire (CMOS). Ainsi, l’INO peut collaborer avec la maison de design pour lui transmettre les spécifications liés à la fabrication, au contrôle et même à la lecture des MEMS. De plus, nous pouvons communiquer avec les fonderies CMOS et nous assurer que la finition des tranches comprenant les puces de contrôle est adéquate pour la fabrication de MEMS.

Par souci d’offrir le meilleur service à ses clients, le groupe de microfabrication de l’INO a développé un réseau de fournisseurs qui lui donne accès à d’autres procédés de fabrication et de logiciels de conception. Si nécessaire, pour mieux répondre aux besoins de nos clients, nous pouvons faire appel à ces fournisseurs et ainsi élargir notre gamme de services.

Finalement, nous proposons des services de fonderie pour le dépôt et le façonnage de couches minces.

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